亚洲午夜福利BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質(zhi)量流(liu)量控(kong)制器(qi) GP200系列(lie)簡介(jie)
所有(you)的表(biao)現。沒(mei)有任(ren)何限(xian)制。
GP200 系(xi)列是(shi)第一(yi)款完(wan)全不(bu)敏感(gan)的基(ji)于壓(ya)力的(de)質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器🏃‍♂️ (P-MFC)，專(zhuan)為半(ban)導體(ti)制造(zao)中的(de)先進(jin)蝕刻(ke)和沉(chen)積工(gong)藝而(er)設㊙️計(ji)。
GP200 系列(lie) P-MFC 采用(yong)技術(shu)架構(gou)，克服(fu)了傳(chuan)統 P-MFC 的(de)局限(xian)性，即(ji)使在(zai)輸送(song)低💃蒸(zheng)氣壓(ya)工藝(yi)氣體(ti)時也(ye)能提(ti)供最(zui)精确(que)的工(gong)藝氣(qi)體輸(shu)送。它(ta)包括(kuo)幾個(ge)獨特(te)的設(she)計方(fang)面，包(bao)括與(yu)下遊(you)閥門(men)架構(gou)相結(jie)合📐的(de)集成(cheng)壓差(cha)傳感(gan)器，可(ke)在行(hang)業中(zhong)最廣(guang)泛的(de)操作(zuo)條件(jian)下實(shi)現最(zui)精确(que)的工(gong)藝氣(qi)體輸(shu)送。
由(you)于 GP200 系(xi)列支(zhi)持如(ru)此廣(guang)泛的(de)工藝(yi)條件(jian)，它可(ke)以用(yong)作😄許(xu)多傳(chuan)統 P-MFC 和(he)熱 MFC 的(de)直接(jie)替代(dai)和升(sheng)級。它(ta)降低(di)了氣(qi)體輸(shu)送系(xi)統🚩的(de)複🧑🏽‍🤝‍🧑🏻雜(za)性和(he)擁♋有(you)成本(ben)，因為(wei)它消(xiao)除了(le)對壓(ya)力調(diao)節器(qi)和🆚傳(chuan)感器(qi)等組(zu)件的(de)需求(qiu)。

特征(zheng)
真正(zheng)的差(cha)壓測(ce)量
降(jiang)低入(ru)口壓(ya)力運(yun)行
下(xia)遊閥(fa)門結(jie)構
匹(pi)配的(de)瞬态(tai)響應(ying)
零洩(xie)漏控(kong)制閥(fa)
MultiFlo TM技術(shu)提供(gong)了無(wu)與倫(lun)比的(de)靈活(huo)性——一(yi)個設(she)備可(ke)以針(zhen)對🔴數(shu)千🙇‍♀️種(zhong)不同(tong)的氣(qi)體和(he)流量(liang)範圍(wei)配置(zhi)進行(hang)編程(cheng)💃，而無(wu)需從(cong)🌍氣體(ti)管線(xian)中移(yi)除 MFC 或(huo)影響(xiang)精度(du)
本地(di)顯示(shi)顯示(shi)流量(liang)、溫度(du)、壓力(li)和網(wang)絡地(di)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和(he)模拟(ni)接口(kou)
好處(chu)
通過(guo)消除(chu)匹配(pei)和補(bu)償兩(liang)個獨(du)立壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)的要(yao)求，GP200 差(cha)壓技(ji)術降(jiang)低了(le)測量(liang)不确(que)定性(xing)，從而(er)提高(gao)了準(zhun)👣确性(xing)、可重(zhong)複性(xing)和漂(piao)移性(xing)能。
由(you)于專(zhuan)為低(di)壓差(cha)測量(liang)而優(you)化的(de) GP200 差壓(ya)傳感(gan)器，現(xian)在使(shi)用 P-MFC 可(ke)以在(zai)較低(di)的入(ru)口壓(ya)力下(xia)實現(xian)更安(an)全的(de)晶圓(yuan)廠操(cao)作。
下(xia)遊閥(fa)門結(jie)構确(que)保精(jing)度獨(du)立于(yu)下遊(you)壓力(li)，使流(liu)量輸(shu)送🔆到(dao)高達(da) 1200 Torr 的壓(ya)力。快(kuai)速關(guan)閉閥(fa)門解(jie)決了(le)上遊(you) MFC 閥🌂門(men)設計(ji)中出(chu)現的(de)非🏃生(sheng)産💁性(xing)配方(fang)等待(dai)時間(jian)或“尾(wei)部效(xiao)應”，這(zhe)些閥(fa)門需(xu)要額(e)外的(de)時🏃🏻‍♂️間(jian)來排(pai)出其(qi)内部(bu)氣體(ti)體積(ji)。
超快(kuai)、高度(du)可重(zhong)複的(de)上升(sheng)和下(xia)降流(liu)動穩(wen)定時(shi)間可(ke)在先(xian)🛀進的(de)高循(xun)環沉(chen)積和(he)蝕刻(ke)工藝(yi)中實(shi)現更(geng)嚴格(ge)的工(gong)🌏藝控(kong)制。
閥(fa)門關(guan)閉性(xing)能提(ti)高 100 倍(bei)
使用(yong) MultiFlo TM，MFC 滿量(liang)程流(liu)量範(fan)圍通(tong)常可(ke)以按(an) 3:1 的系(xi)數重(zhong)新按(an)比例(li)縮💜小(xiao)🈲，而不(bu)會影(ying)響精(jing)度、量(liang)程比(bi)或規(gui)格洩(xie)漏，以(yi)實現(xian)最佳(jia)工藝(yi)和庫(ku)存靈(ling)活性(xing)
方便(bian)的用(yong)戶顯(xian)示和(he)獨立(li)的診(zhen)斷/服(fu)務端(duan)口有(you)助于(yu)設備(bei)安裝(zhuang)、監控(kong)和故(gu)障排(pai)除
主(zhu)要應(ying)用
半(ban)導體(ti)制造(zao)
蝕刻(ke)
化學(xue)氣相(xiang)沉積(ji) (CVD)
需要(yao)高純(chun)度全(quan)金屬(shu)流路(lu)的氣(qi)流控(kong)制應(ying)用

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