Polytec MSA-650 IRIS激光振測儀 - 其他光學儀器 - 湖北嘉兴亚丰机械制造有限公司

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Polytec MSA-650 IRIS激(jī)光振測(cè)儀介紹(shào)
應用光(guāng)學檢測(ce)矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jiàn)内部結(jie)構振動(dong)特點
MEMS元(yuán)器件的(de)信息特(tè)點檢測(cè)和機械(xiè)設備回(hui)應數據(jù)可♈視🔴化(huà)針對産(chan)品研發(fā)、常見故(gu)障解決(jué)和有限(xiàn)元分析(xi)實體模(mo)型認證(zheng)而言十(shí)分關鍵(jiàn)。
Polytec企業的(de)MSA顯微鏡(jìng)式激光(guang)測振儀(yí)能迅速(su)、精确地(di)檢測超(chao)🥰微結構(gòu)♊的面外(wai)振動(OOP)揉(rou)面内振(zhen)動(IP)。
全新(xīn)升級的(de)MSA-650IRIS顯微鏡(jìng)式激光(guang)測振儀(yí)乃至可(kě)以通過(guo)完善❌的(de)小🤟型矽(xī)密封性(xìng)元器件(jian)開展檢(jian)測，如慣(guàn)性力傳(chuán)感器，MEMS話(huà)筒，工作(zuò)壓力傳(chuan)感器等(deng)。
根據矽(xī)封裝元(yuan)器件的(de)不一樣(yang)層檢測(ce)MEMS動态性(xing)特點
即(jí)時面外(wài)振動檢(jiǎn)測，較大(dà)網絡帶(dai)寬達到(dao)25MHz
亞皮米(mi)級面外(wai)振動偏(pian)移屏幕(mù)分辨率(lǜ)
MEMS元器件(jian)的最後(hou)有限元(yuán)分析實(shí)體模型(xíng)認證
能(néng)夠更好(hao)地分離(lí)出來元(yuán)器件的(de)每個層(ceng)
頻閃法(fa)檢測平(píng)行面振(zhèn)動，網絡(luo)帶寬達(dá)到2.5MHz
便于(yu)集成化(huà)至生産(chǎn)流水線(xiàn)的自動(dòng)測量系(xi)統軟件(jian)(兼容商(shāng)🚶業探針(zhen)台)
能夠(gòu)更好地(di)分離出(chū)來元器(qi)件的每(mei)個層

特(tè)點
MSA-650IRIS檢測(cè)系統軟(ruan)件包含(hán)控制闆(pan)、含有附(fù)加參照(zhào)安全通(tong)道♋的頻(pín)率計，極(jí)高精密(mi)度紅外(wai)光源的(de)光學頭(tou)和強有(yǒu)力的配(pei)套設👅施(shi)程序包(bāo)。
其專用(yong)型的紅(hong)外相機(jī)和低相(xiàng)關SLD源，是(shì)在其通(tong)過矽帽(mào)獲得🈲詳(xiáng)🙇‍♀️細矽封(feng)裝構造(zao)在作業(yè)情況下(xià)的全部(bu)層制構(gòu)造的✨信(xìn)息性能(néng)的重要(yào)。
矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jian)的多形(xíng)式檢測(cè)
因為矽(xī)在光波(bō)長為1050nm以(yi)上的近(jin)紅外光(guang)譜中是(shì)通透的(de)，根據紅(hóng)外㊙️線幹(gàn)涉儀的(de)振動精(jīng)确測量(liang)技術性(xìng)促使獲(huò)🚩得密封(fēng)性MEMS元器(qi)♌件最真(zhen)正和最(zui)有象征(zheng)性的振(zhèn)動特點(dian)變成很(hen)有可能(néng)。
Polytec全新升(sheng)級的最(zuì)現代化(hua)的且已(yǐ)得到發(fā)明的MSA系(xi)統軟件(jian)能保證(zheng)最好網(wang)站安全(quan)性，更強(qiáng)的分離(li)出來MEMS元(yuan)器件的(de)每個層(céng)。MSA-650IRIS顯微鏡(jing)式激🧡光(guang)測振儀(yi)内嵌專(zhuan)用型紅(hóng)外相機(ji)🌈和低相(xiang)關SLD源，是(shì)當前通(tong)過矽封(feng)裝構造(zào)獲得詳(xiang)細動态(tài)性性能(neng)的系統(tǒng)軟件，實(shí)際上時(shí)⛹🏻‍♀️面外振(zhen)動‼️網絡(luo)帶寬達(da)到25MHz，平行(hang)面振🔴動(dòng)屏幕分(fen)辨率低(dī)至30nm。

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